Control of gas concentration distribution in a semiconductor process chamber using CT-TDLAS measurement
نویسندگان
چکیده
منابع مشابه
Bioreactor Fill Process Control Using Inline Concentration Measurement
Some biopharmaceutical companies have responded to evolution of the competitive landscape by placing additional emphasis on reducing their costs of manufacturing as a means of maintaining competitiveness. The prototypical current generation biopharmaceutical drug substance manufacturing facility requires a large upfront capital investment. Improving efficiency of use of existing facilities, suc...
متن کاملMeasurement of Fluoride Concentration in Semnan Drinking Water Distribution
Background: The existence of fluoride ion in potable water has distinctive effects on human health. Fluoride is attracted by positively charged calcium in teeth and bones due to its strong electro-negativity which results in dental, skeletal, and non-skeletal forms of xuorosis and associated health complaints in children as well as adults. Methods: Water samples from groundwater used for dri...
متن کاملA Study of Two Dimensional Tomography Reconstruction of Temperature and Gas Concentration in a Combustion Field Using TDLAS
Based on tunable diode laser absorption spectroscopy (TDLAS), two-dimensional (2D) distribution reconstructions of gas concentration and temperature are realized using an algebraic reconstruction technique (ART). The influence of the beam distribution and grid size on combustion field reconstruction is investigated to attain optimal reconstruction results with a limited number of beams. Under l...
متن کاملhazard evaluation of gas condensate stabilization and dehydration unit of parsian gas refinery using hazop procedures
شناسایی مخاطرات در واحد 400 پالایشگاه گاز پارسیان. در این پروزه با بکارگیری از تکنیک hazop به شناسا یی مخاطرات ، انحرافات ممکن و در صورت لزوم ارایه راهکارهای مناسب جهت افزایش ایمنی فرا یند پرداخته میگردد. شرایط عملیاتی مخاطره آمیز نظیر فشار و دمای بالا و وجود ترکیبات مختلف سمی و قابل انفجار در واحدهای پالایش گاز، ضرورت توجه به موارد ایمنی در این چنین واحدهایی را مشخص می سازد. مطالعه hazop یک ر...
fault location in power distribution networks using matching algorithm
چکیده رساله/پایان نامه : تاکنون روشهای متعددی در ارتباط با مکان یابی خطا در شبکه انتقال ارائه شده است. استفاده مستقیم از این روشها در شبکه توزیع به دلایلی همچون وجود انشعابهای متعدد، غیر یکنواختی فیدرها (خطوط کابلی، خطوط هوایی، سطح مقطع متفاوت انشعاب ها و تنه اصلی فیدر)، نامتعادلی (عدم جابجا شدگی خطوط، بارهای تکفاز و سه فاز)، ثابت نبودن بار و اندازه گیری مقادیر ولتاژ و جریان فقط در ابتدای...
ذخیره در منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ژورنال
عنوان ژورنال: AIP Advances
سال: 2021
ISSN: 2158-3226
DOI: 10.1063/5.0037758